普旭真空泵维修时，如果遇到真空泵不能抽至更限真空度，首先检查真空系统的气密性，看是否有轻微漏气。其次，打开气镇，泵运行约30min，排出非泵油污染造成的可压缩蒸汽，消除可压缩蒸汽对更限真空度的影响。排除上述两个因素后，真空泵不能达到更限真空度的主要原因包括以下几个方面：
普旭真空泵维修时若是发现泵油污染，需要换油;泵内滤油器堵塞，导致油路不畅，压缩喷油系统供油不足，导致泵体密封不严。此时，需要清洁内部机油滤清器。普旭真空泵维修时发现达不到更限真空度，可能是由于分油器阀门变形、磨损或损坏，也可能导致供油不足。在这种情况下，应检查并更换机油分配器的阀门。

真空泵的长期使用将导致旋转盘的磨损或转子中的弹簧张力不足，这将导致吸入室和排出室之间的隔离不严，从而导致真空泵的真空泵吸性能下降。因此在普旭真空泵维修时应更换转盘和弹簧，并清洁转子和泵室。检查排气阀，看其动作是否失败，导致排气不良。如有必要，更换排气阀。
普旭真空泵维修中常见的漏油故障之一主要发生在真空泵的油窗、油箱密封垫和电机轴承轴封处。主要原因是这些零件的老化和真空泵使用时间长造成的密封失效导致漏油。油窗漏油是由于真空泵使用时间长导致油窗老化，导致破裂，或者油窗与油箱之间的粘合剂老化失效，导致泵油泄漏。
在普旭真空泵维修过程中，电机轴有两个油封，前油封和后油封。任何老化故障都会导致漏油。油箱通过适配器与电机连接，油箱与适配器的连接处设有密封圈，起到密封油箱的作用。如果老化，也会导致真空泵漏油。此外，适配器上还有一个毛毡垫，起到回收泵油的作用。如果充满油，真空泵也会漏油。
为解决漏油问题，在对普旭真空泵维修过程中，需要更换老化了的油窗、轴封、密封垫和已充入泵油的毛毡垫。普旭真空泵维修完成后，在加注前用真空泵油冲洗真空泵，并用溶剂清洗加注口的滤网，以保持油箱清洁。